У меня такое было при установке на пользованный XP, то есть бывший в работе. А на только что установленный XP SP1 ставится без проблем. Что характерно машина не одна так глючит, а на такую же конфигурацию машины поставилось вообще без проблем.
Проверено на 2 машинах
Athlon XP 2500 + Barton/Epox 8RDA3+/256/40Gb WD/GeForce 4 8x/CD-RW Nec 9400a глючит
на одной машине
Athlon XP 2500 + Barton/Epox 8RDA3+/256/80Gb WD/GeForce 4 8x/DVD-RW Nec 2500a не глючит